krzemowych
Encyklopedia PWN
krzem, Si, silicum,
pierwiastek chemiczny o liczbie atomowej 14;
materiały wykazujące ferromagnetyzm (poniżej temperatury Curie) lub ferrimagnetyzm (poniżej temperatury Néela);
MEMS, ang. Micro–Electro–Mechanical Systems lub Micromachined Electrical Mechanical Systems, mikrosystemy elektromechaniczne,
stacjonarne albo ruchome struktury, urządzenia lub systemy, o wymiarach liniowych od pojedynczych cm do pojedynczych µm, wytwarzane za pomocą mikroobróbki materiałów.
MOS, ang. Metal-Oxide-Semiconductor,
struktura półprzewodnikowa, stanowiąca układ 3 warstw: metalu, tlenku i półprzewodnika, wytwarzana technologią, zw. technologią MOS (będąca odmianą technologii planarnej).
Palo Alto
m. w USA (stan Kalifornia), nad zat. San Francisco, na północno-zachodnim skraju Doliny Krzemowej;
[pạ̈lou ạ̈ltou],
elektron. przyrząd (element), którego działanie opiera się na wykorzystaniu zjawisk fiz. występujących w półprzewodnikach.
