Mikroroboty
Encyklopedia PWN
MEMS, ang. Micro–Electro–Mechanical Systems lub Micromachined Electrical Mechanical Systems, mikrosystemy elektromechaniczne,
stacjonarne albo ruchome struktury, urządzenia lub systemy, o wymiarach liniowych od pojedynczych cm do pojedynczych µm, wytwarzane za pomocą mikroobróbki materiałów.
urządzenie mech. lub elektromech. o małych lub bardzo małych wymiarach;