mikroczujnik, mikrosensor,
czujnik o małych lub bardzo małych wymiarach (od kilku µm do 1 mm);
mikroczujnik
Encyklopedia PWN
m. są najczęściej krzemowymi czujnikami scalonymi, tj. integralnie związanymi z układami przetworników analogowo-cyfrowych i wzmacniaczy, wchodzących w skład mikrosystemów mechatronicznych; w ich działaniu wykorzystuje się te same zjawiska, co w działaniu innych czujników krzemowych (czujnik).