w fazie gazowej
Encyklopedia PWN
krzem, Si, silicum,
pierwiastek chemiczny o liczbie atomowej 14;
klasa materiałów, w których wielkość agregatów atomowych (ziaren krystalicznych faz o określonym składzie, agregatów amorficznych, mieszanych struktur częściowo krystalicznych) zawiera się (umownie) w zakresie 1–100 nm;
materiał będący stopem amorficznym dwu- lub wieloskładnikowym, w którym metal jest składnikiem podstawowym;
adsorpcja
zagęszczanie substancji (gazów, par, rozpuszczonych ciał stałych, jonów, a także cieczy) na granicy dwóch sąsiadujących faz.
[łac. ad- ‘przy’, sorbere ‘pochłaniać’],
iloraz pojemności cieplnej C i masy całkowitej m układu; c = C/m.
PVD, ang. Physical Vapor Deposition,
wspólna nazwa grupy metod służących do wytwarzania cienkich warstw;
