elipsometr
przyrząd opt. do badania różnych właściwości powierzchni przez pomiar zmiany stanu polaryzacji światła odbitego od tej powierzchni;
[gr.],
elipsometr
Encyklopedia PWN
w najprostszym przypadku układ opt. elipsometru składa się ze źródła światła emitującego promieniowanie monochromatyczne (np. laser), polaryzatora, ćwierćfalówki, analizatora i odbiornika (np. fotodioda). Elipsometry stosuje się gł. w przemyśle elektronicznym i opt. do pomiaru stopnia zanieczyszczenia materiałów, grubości cienkich warstw nakładanych na próbkę, stanu powierzchni próbki (np. chropowatość) i in.
