układach scalonych cienkowarstwowych
Encyklopedia PWN
elektron. mikrominiaturowy układ elektroniczny (mikroukład), w którym wszystkie elementy lub ich część (wraz z połączeniami) są wytworzone w jednym cyklu technologicznym wewnątrz lub na powierzchni wspólnego podłoża i stanowią nierozdzielną całość;
elektronika
dziedzina nauki i techniki, zajmująca się wykorzystaniem zjawisk związanych z ruchem elektronów swobodnych w próżni, gazach i ciałach stałych (głównie półprzewodnikach);
[gr.],
czujnik, sensor:
elektron. przyrząd (element), którego działanie opiera się na wykorzystaniu zjawisk fiz. występujących w półprzewodnikach.
zespół metod służących do wytwarzania warstw o grubości nie przekraczającej kilku µm (zwykle poniżej 1 µm) na powierzchni podłoża, mającego z reguły grubość wielokrotnie większą (nawet kilkaset tys. razy).
inform.:
