nanometrologia

nanometrologia

[gr.],

dział metrologii zajmujący się pomiarami bardzo małych obiektów, wytwarzanych metodami mikro- i nanotechnologii, wykorzystywany gł. w mechanice precyzyjnej, optyce, technologii półprzewodników, technologii materiałów (chemii) oraz biologii molekularnej;

obejmuje pomiary wymiarów i tolerancji cech takich obiektów oraz przemieszczeń w zakresie 0,1–1000 nm; w pracach nauk. pozwala m.in. na badania i pomiary z najwyższą dokładnością wielu parametrów fiz., np. chropowatości powierzchni, i chem. struktury obiektów, w przemyśle — na zredukowanie czasochłonności i kosztów pomiarów, przy jednoczesnym zapewnieniu najlepszej jakości produkowanych przedmiotów i stabilności produkcji. W n. są stosowane gł. techniki mikroskopowe (wykorzystuje się np. mikroskop sił atomowych, mikroskop tunelowy skaningowy) w powiązaniu z systemami do nanopozycjonowania i do pomiarów położenia z najwyższą precyzją. W celu zachowania spójności pomiarów w zakresie n., tj. powiązania ich z wzorcami jednostki miary SI, są tworzone specjalne wzorce (np. w postaci siatek, schodków, struktur waflowych) oraz metody ich wzorcowania i wzorcowania stosowanej aparatury pomiarowej.