jonolitografia
elektron. jedna z metod litografii;
[gr.],
jonolitografia
Encyklopedia PWN
posługuje się mat. modelem odwzorowywanego fragmentu struktury elektronicznej, zapisanym w pamięci komputera sterującego urządzeniem wytwarzającym skupioną wiazkę wysokoenerget. jonów, bombardujących określone miejsca płytki półprzewodnikowej.
