elektronolitografia
elektron. jedna z metod litografii;
[gr.],
elektronolitografia
Encyklopedia PWN
posługuje się mat. modelem odwzorowywanego fragmentu struktury elektron., zapisanym w pamięci komputera sterującego urządzeniem wytwarzającym skupioną wiązkę wysokoenerg. elektronów, bombardujących określone miejsca płytki półprzewodnikowej.
