strukturach planarnych
Encyklopedia PWN
elektron. technologia wytwarzania przyrządów półprzewodnikowych (układów scalonych, tranzystorów, diod i in.), w której wszystkie procesy prowadzące do uzyskania struktur tych przyrządów odbywają się na jednej stronie (powierzchni) płytki, stanowiącej ich podłoże i wykonanej z materiału półprzewodnikowego (półprzewodniki).
nanostruktury
elektron. struktury materialne składające się z elementów, których wielkość zawiera się (umownie) w granicach od kilku do kilkuset nm.
[gr.-łac.],
MOS, ang. Metal-Oxide-Semiconductor,
struktura półprzewodnikowa, stanowiąca układ 3 warstw: metalu, tlenku i półprzewodnika, wytwarzana technologią, zw. technologią MOS (będąca odmianą technologii planarnej).
elektron. przyrząd (element), którego działanie opiera się na wykorzystaniu zjawisk fiz. występujących w półprzewodnikach.
tomografia
sposób uzyskiwania dwuwymiarowego obrazu przekroju obiektu trójwymiarowego w dowolnie wybranej płaszczyźnie, w celu poznania jego struktury wewn., bez konieczności naruszania tej struktury;
[gr. tomós ‘cięty’, ‘tnący’, gráphō ‘piszę’],
elektron. mikrominiaturowy układ elektroniczny (mikroukład), w którym wszystkie elementy lub ich część (wraz z połączeniami) są wytworzone w jednym cyklu technologicznym wewnątrz lub na powierzchni wspólnego podłoża i stanowią nierozdzielną całość;
