epiplanarna
Encyklopedia PWN
elektron. technologia wytwarzania przyrządów półprzewodnikowych (układów scalonych, tranzystorów, diod i in.), w której wszystkie procesy prowadzące do uzyskania struktur tych przyrządów odbywają się na jednej stronie (powierzchni) płytki, stanowiącej ich podłoże i wykonanej z materiału półprzewodnikowego (półprzewodniki).
