aktuatorów
Encyklopedia PWN
dziedzina mechatroniki zajmująca się budową i sterowaniem urządzeń wykonawczych stosowanych w automatyce i robotyce w celu realizacji zadań ruchowych i siłowych.
MEMS, ang. Micro–Electro–Mechanical Systems lub Micromachined Electrical Mechanical Systems, mikrosystemy elektromechaniczne,
stacjonarne albo ruchome struktury, urządzenia lub systemy, o wymiarach liniowych od pojedynczych cm do pojedynczych µm, wytwarzane za pomocą mikroobróbki materiałów.