Metoda CVD
Encyklopedia PWN
zespół metod służących do wytwarzania warstw o grubości nie przekraczającej kilku µm (zwykle poniżej 1 µm) na powierzchni podłoża, mającego z reguły grubość wielokrotnie większą (nawet kilkaset tys. razy).
cienkie warstwy krystaliczne wytwarzane na powierzchni krystalicznego podłoża przy użyciu różnych metod wykorzystujących zjawisko epitaksji.
